微小抵抗を小さな電流で測定しようとすると、測定する端子電圧が数Vμ程度になる場合があります。このレベルは、測定に使用するケーブル接続部分で発生するゼーベック効果の熱起電力と同レベルです。 この熱起電力が微小抵抗測定の大きな誤差要因となります。この誤差要因を除去するための電流反転法を含め複数の測定方法を提供します。

供試体の端子電圧が数mV以上であれば、電源機器の電圧測定機能を使用した4 端子測定で、ある程度の測定精度を確保することができます。 しかし、供試体の端子電圧が数10Vμ以下になると、マルチメータによる測定は困難となるため、ナノボルトメータを使用して微小電圧測定を行なう必要があります。